Ringkasan
Meter aliran jisim adalah bahagian yang sangat penting dalam peralatan pembuatan semikonduktor. Kestabilan kerja sering menjadi faktor utama kejayaan dan kegagalan proses semikonduktor.
HORIBA STEC, Sebagai pengeluar pengukur aliran dengan bahagian pasaran global lebih daripada 35%*1, kami telah lama menyediakan produk berkualiti tinggi dan pelbagai fungsi untuk industri semikonduktor. Sekarang, dengan teknologi baru, HORIBA STEC mempromosikan pengawal aliran massa baru di seluruh dunia: Siri Z500.
Berbanding dengan model lama, siri Z500X mencapai terobosan baru dan ditakdirkan untuk mengubah masa depan teknologi kawalan aliran. Penukaran gas komposit, aliran komposit dicapai sambil menyediakan semua fungsi kawalan aliran yang diperlukan oleh pelanggan. Pelanggan boleh menukar jenis dan jarak gas pengukur aliran dengan mudah mengikut keperluan proses*2.
Di samping itu, melalui inovasi teknologi bahan produk, siri Z500 sepenuhnya memenuhi keperluan reka bentuk produk hijau RoHS untuk meningkatkan nilai produk untuk pelanggan.
Meter aliran siri Z500 berprestasi tinggi akan membawa anda lebih banyak kejutan. Dunia menyaksikan kelahiran alat pengukur aliran jisim baru yang akan mengubah industri semikonduktor secara keseluruhan.
*1 Rujukan kepada laporan kajian VLSI 2007.
*2 Gas komposit, fungsi aliran komposit.
Ciri-ciri
Ketepatan tinggi: tetapkan nilai aliran ± 1.0%.
Ketepatan linear MFC diimbangi oleh lengkung pendekatan polynomial, teknologi ini menjamin ketepatan kawalan yang tinggi dalam pelbagai julat kawalan. Untuk meningkatkan ketepatan kawalan pelbagai jenis gas sebenar, HORIBA STEC telah membangunkan sistem pengukuran gas standard dan mengumpul data pengukuran pelbagai gas proses berdasarkan sejumlah besar percubaan.
Tindakbalas berkelajuan tinggi
SEC-Z500X menggunakan sistem "PID yang boleh diubah" terbaru yang memastikan perubahan antara mana-mana dua titik aliran tetapan selesai dalam masa 1 saat Apabila aliran yang berbeza ditetapkan, data PID akan disesuaikan secara automatik dan data PID dapat dioptimumkan secara automatik untuk menjadikan tindak balas berkelajuan tinggi walaupun selepas jenis gas dan julat aliran berubah.
Sistem aliran gas komposit dan komposit
Produk baru HORIBA STEC membolehkan pelanggan dengan mudah mengubah jenis gas dan aliran di tempat menjadi kenyataan. Perisian persediaan Z500 kami mudah dan mudah digunakan. Lebih baik lagi, penyelesaian perubahan ini tidak memerlukan MFC dipecahkan dari sistem. Dengan demikian, jumlah barang cadangan pelanggan boleh dikurangkan secara signifikan, sambil menjimatkan masa dan kos.
Gambar produk dan lain-lain