Keperluan pengukuran
Menyerap filem pada cakera penyedot, mengimbas profil permukaan aras aras dengan filem untuk mengukur ketebalan dakta dengan segmen substrat

Gambaran keseluruhan ciri-ciri utama
1. pengukuran tanpa sentuhan, reka bentuk bersepadu
2. pelbagai penggunaan, mudah dipasang
Jaminan ketepatan pengulangan ± 0.5 hingga ± 1μm
4. imbasan baris satu, kelajuan boleh mencapai 50mm / s, sangat meningkatkan kelajuan pengesanan
5. pengesanan luar talian, penyimpanan data ketebalan, membentuk data asas statistik pengurusan / analisis
6. fungsi penggera yang kaya, OK, petua NG, pemantauan pengukuran keseluruhan proses, kawalan kualiti, meningkatkan kecekapan

Hasil pengukuran
Ketebalan dakwat kira-kira 10μm

Menyelesaikan masalah peranti pengukuran pada peringkat ini

Terdapat keperluan tertentu untuk bahan pengukuran
2. Pengukuran sentuhan, bahan pengukuran rosak
3. julat pengukuran kecil, lokasi tidak pasti, sukar untuk mengukur
4. kelajuan pengukuran perlahan, ketepatan rendah, kesilapan pengukuran yang besar

Struktur yang kompleks dan kos yang tinggi