Keperluan pengukuran
Imbas profil 3D permukaan cip MEMS untuk mengekstrak profil untuk mengukur beberapa perbezaan permukaan ukiran di atasnya

Gambaran keseluruhan ciri-ciri utama
1. pengukuran tanpa sentuhan, reka bentuk bersepadu

2. Imbasan bentuk 3D, pemprosesan data pelbagai fungsi
3. Guna untuk pengukuran tepat pelbagai bahan

4. Mudah digunakan dan mudah dipasang

5. imbasan cepat, ketepatan kedudukan yang tinggi

6. ± 0.5 hingga ± 1μm pengulangan ketepatan dijamin

Kestabilan yang tinggi, keupayaan anti gangguan yang kuat

Hasil pengukuran
Perbezaan ketinggian permukaan ukiran adalah kira-kira 300 μm

Menyelesaikan masalah peranti pengukuran pada peringkat ini

Terdapat keperluan tertentu untuk bahan pengukuran
2. Pengukuran sentuhan, bahan pengukuran rosak
3. julat pengukuran kecil, lokasi tidak pasti, sukar untuk mengukur
4. kelajuan pengukuran perlahan, ketepatan rendah, kesilapan pengukuran yang besar

Struktur yang kompleks dan kos yang tinggi