Mikroskop Elektron Imbasan Peluncuran Medan Resolusi Ultra Tinggi Siri Regulus
Model SU8240, SU8230, SU8220 dan SU8010 yang sedia ada telah diintegrasikan semula untuk menjadi Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 dan Regulus 8100.
'Siri Regulus' mewarisi prestasi pemerhatian dan analisis daripada model sedia ada dengan senapan elektronik melepaskan medan sejuk bunyi rendah siri SU8200*1boleh mendapatkan aliran yang stabil.
Dengan mengoptimumkan sistem elektronik optik, Regulus 8240/8230/8220 meningkatkan resolusi kepada 0.7 nm dalam keadaan 1 kV dan Regulus 8100 meningkatkan resolusi kepada 0.8 nm.
Selain itu, untuk menggunakan sepenuhnya keupayaan resolusi yang sangat tinggi, kadar pembesaran juga meningkat dari 1 juta kali kepada 2 juta kali pada masa lalu.*1.
Regulus 8240/8230/8220/8100 juga menyempurnakan sokongan pengguna yang memudahkan pengguna memahami prinsip pengesanan pelbagai isyarat yang rumit dan membantu pengguna memanfaatkan prestasi optimum instrumen.
- *1
- Regulus 8240/8230/8220 sahaja
-
Ciri-ciri
-
Spesifikasi
Ciri-ciri
- Senjata elektronik melemparkan medan sejuk dengan 'Siri SU8200'*2
- Kawasan stabil kecerahan tinggi yang muncul selepas sinar elektron berkedip sebagai julat pemerhatian yang stabil membolehkan prestasi terbaik untuk pemerhatian dan analisis resolusi tinggi dalam keadaan voltan dipercepatkan rendah
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - Penggunaan gudang sampel vakum tinggi dan pencemaran kecil
- Penggunaan penapis tenaga (pilihan), boleh melihat pelbagai kontras komponen*2
Pemerhatian resolusi tinggi pada voltan pendaratan yang sangat rendah

Contoh: zarah emas
Voltan pendaratan: 10 V
Pemerhatian resolusi tinggi

Contoh: Pt pengkatalis
Voltan dipercepatkan: 30 kV
Analisis EDX resolusi tinggi pada voltan pemecatan rendah

Contoh: Bola Sn
Voltan pendaratan: 1.5 kV
- *2
- Regulus 8240/8230/8220 sahaja
Spesifikasi
| Projek | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Resolusi elektronik kedua | 0.7 nm Voltan dipercepatkan 15 kV 0.8 nm Voltan pendaratan 1 kV*3 |
0.6 nm (voltan dipercepatkan 15 kV) 0.7 nm (voltan pendaratan 1 kV)*3 |
|||||
| Voltan pendaratan | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
| Membesarkan | 20 ~ 1,000,000 kali*4 | 20 ~ 2,000,000 kali*4 | |||||
| Meja sampel | Kawalan meja sampel | 3 paksi motor (pilihan 5 paksi motor) | Pemandu motor 5 paksi | ||||
| Julat pergerakan | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
| Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5~70° | ||||||
| Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
| Kemungkinan untuk diulang semula | - | - | - | ± 0.5 µm atau kurang daripada ± 0.5 µm | |||
- *3
- Pemerhatian dalam mod perlahanan
- *4
- Skala berdasarkan filem 127 mm × 95 mm
Kategori Produk Berkaitan
- Sistem sinar ion fokus (FIB/FIB-SEM)
- Peranti pra-pemprosesan sampel TEM/SEM
