· Meja adalah struktur sokongan seluler tiga lapisan, menggunakan keluli tahan karat magnetik tinggi Icr17

· Bahan penebat getaran menggunakan ketepatan jenis pengurangan getaran damping profesional dan titir penebat getaran damping peringkat kebangsaan

· Kekerapan semulajadi minimum sehingga 3Hz, prestasi pengurangan guncangan yang kuat

· Boleh disesuaikan mengikut keperluan pelanggan (Lfon,Tfon,Vfon dan lain-lain) platform optik ketepatan

· tidak lebih daripada 0.05mm㎡

· Kasuran permukaan kurang daripada 0.8um ~ 1.6um

Frekuensi yang wujud 3Hz ~ 6Hz

· Amplitud tidak lebih daripada 5um

Ketepatan kedudukan berulang+0.05mm